硅片技术标准.docVIP

单晶硅片技术标准 1范围 1。1 本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等 1.2 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。 2 规范性引用文件 2.1 ASTM F42-02????半导体材料导电率类型的测试方法 2。2 ASTM F26???????半导体材料晶向测试方法 2.3?ASTM F84???????直线四探针法测量硅片电阻率的试验方法 2。4 ASTM F1391-93?太阳能硅晶体碳含量的标准测试方法 2.5 ASTM F121-83???太阳能硅晶体氧含量的标准测试方法 2。6 ASTM F 1535????用非接触测量微波反射所致光电导性衰减测定载流子复合寿命