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一种抛光机漏液槽.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种抛光机漏液槽.pdf

    本实用新型公开了一种抛光机漏液槽，包括槽体、漏液孔、槽体固定块、摆动臂轴孔和研磨盘孔，所述摆动臂轴孔和研磨盘孔设置在槽体内部并贯穿漏液槽的底部，其中，所述研磨盘孔用于安装抛光机的研磨盘，所述摆动臂轴孔用于安装抛光机的摆动臂轴，所述槽体固定块固定连接在槽体侧面，用于固定安装该抛光机漏液槽，所述漏液孔设置在槽体的底部，槽体的底部为斜坡设计，所述漏液孔固定设置在漏液槽底部斜度的最低点处。解决了抛光液易积存于漏液槽、腐蚀漏液槽的问题，具有抛光液轻松排出，防腐蚀的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214025178 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202023097806.7 (22)申请日 2020.12.21 (73)专利权人 北京特思迪半导体设备有限公司

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