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一种液晶面板蚀刻机.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种液晶面板蚀刻机.pdf

    本实用新型公开了一种液晶面板蚀刻机，包括：蚀刻腔体、TMP孔以及TMP孔护圈；所述TMP孔位于所述蚀刻腔体上，所述TMP孔护圈与所述TMP孔的大小相适配，所述TMP孔护圈嵌设在所述TMP孔内，用于保护所述TMP孔。在本申请中，通过所述TMP孔护圈保护所述TMP孔,防止所述TMP孔侧壁及其周围部件在等离子轰击过程中产生较多的黑色生成物，从而影响玻璃基板的质量，同时所述TMP孔护圈还可以节省人员成本，使操作员不需要定期的清理蚀刻机，所述TMP孔护圈的设置可以有效提高蚀刻机的工作效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214011678 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022685227.8 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人 福建华佳彩有限公司

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