一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器.pdf

本实用新型属于高温压力测试技术领域,具体涉及一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器,包括封装外壳、上端盖、陶瓷基座、检测基片和互连组件,所述封装外壳的顶部设置有上端盖,所述封装外壳的内部设置有陶瓷基座,所述陶瓷基座中部开设有方形安装槽,所述检测基片设置在陶瓷基座的方形安装槽内,所述互连组件的一端与检测基片连接,所述互连组件的另一端与外部设备进行连接,从而将压力信号传递出来。本实用新型利用二维材料石墨烯纳米膜作为测压元件,极大提高了压力传感器的响应速度;同时本实用新型极大提高了传感器的高温耐受性、气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214010600 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023077937.9 (22)申请日 2020.12.20 (73)专利权人 中北大学南通智能光机电研究院

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