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一种硒化氢气体在线混配系统.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种硒化氢气体在线混配系统.pdf

    本实用新型提供了一种硒化氢气体在线混配系统，所述硒化氢气体在线混配系统包括供气柜、设置在供气柜侧面的负压通道、设置在供气柜内的至少两个混料罐，所述混料罐的进气端连通有硒化氢进气管与混料气体进气管，混料罐的出气端连通有混合气体出气管与吹扫气体管道，硒化氢进气管、混合气体出气管、功能管道与混料气体进气管上均设置有启闭管道的手动启闭阀，功能管道上设置有废气真空发生器，废气真空发生器两端分别连通有废气管道和吹扫气体管道，废气管道上设置有废气启闭阀并在废气启闭阀后通过管道与相邻混料罐的功能管道相连通。通过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214020540 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022774127.2 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 上

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