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一种新型离子源中和器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种新型离子源中和器.pdf

    本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，提出了一种新型离子源中和器，包括具有空腔的导磁钢外壳、在导磁钢外壳内由下至上依次设置有永磁铁、阳极，导磁钢外壳上设置有离子出射孔，永磁铁的一端与导磁钢外壳的底部连接，另外一端位于阳极下方，还包括直流电源，直流电源与阳极连接，导磁钢接地，增设了设置在离子出射孔旁的电子发生装置，电子发生装置包括不锈钢外壳及设置在不锈钢外壳内的钨丝，不锈钢外壳接负电，不锈钢外壳上设置有朝向离子出射孔的电子出射孔。通过上述技术方案，解决了现有技术中离子源中和器灯丝挥发污染基片、寿命短

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012895 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023140694.9 (22)申请日 2020.12.23 (73)专利权人 长沙元戎科技有限责任公司

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