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激光干涉仪工作原理 激光干涉仪就是用激光束来测量物体表面的几何形状和尺寸特性的几何测量仪器，是物理量测与检测领域精密度最高的仪器。快速、精确地测量、分析和监测物质的基本形态，激光干涉仪已经在品质检测、发动机研究、航空航空制造等多个行业得到广泛运用和发展。 激光干涉仪的工作原理是通过发射两束相互垂直的干涉线，其中一束为引射激光束，另一束为参考激光束，把它们对准物体平面（对平轮廓进行量测），当物体表面有波动时，随着距离的变化，引射激光束发生位移，从而使参考激光束与引射激光束的相位发生变化，从而形成激光干涉图像，再结合光栅尺或者线阵扫描仪的辅助便可以获取物体面的形状、尺寸等参数的测量信息。 激光干涉仪系统通常包括发射激光器、反射镜、振荡器、编码器及扫描仪等结构以及检测调整、数据输出等电子电路和软件系统。发射激光器发出的激光束经过反射镜和振荡器，形成垂直或水平的引射激光束和参考激光束，然后在物体表面反射干涉，并被传阅到外部扫描仪进行线阵扫描量测，编码器根据测量结果输出数据，电脑就可以实现对表面粗糙度、有效形状等的快捷准确的测量分析。 激光干涉仪具有精度高、量测速度快等特点，广泛应用于机械加工行业，例如电器机壳及其它零件加工，可以迅速测出零件形状、尺寸以及轮廓等参数，精确控制零件质量，满足生产的要求。如检测汽车发动机活塞缸筒内表面粗糙度，滚道弯曲度，筒体管口头椭圆度，螺旋角矩形性检测等参数，外部曲面等参数，有助于发动机研究和开发，确保了零件的质量。