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cheng 第一章 绪论 1．表面工程技术：为满足特定的工程需求，使材料或零部件表面具有特殊的成分、结 构和性能的化学、物理方法与工艺。 2．表面工程技术内涵： （1） 表面改性技术。能够提高零部件表面的耐磨性、耐蚀性、抗高温氧化性能， 或使材料表面具有特殊功能（磁性能、光电性能）的有关技术。 （2） 表面加工技术。能在单晶硅表面制作大规模集成电路的光刻技术、离子刻蚀 技术