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扫描电镜分析测试多功能样品台.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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扫描电镜分析测试多功能样品台.pdf

    本实用新型公开了一种扫描电镜分析测试多功能样品台，属于扫描电镜设备技术领域。该扫描电镜分析测试多功能样品台包括支座和载物台，支座具有至少两个连接孔，载物台的数量大于或等于2且不超过连接孔的数量，每个载物台对应可拆卸连接于一个连接孔。载物台选自EBSD测试载物台、TKD测试载物台、EDS测试载物台或截面高倍形貌测试载物台。该扫描电镜分析测试多功能样品台能够对多个样本同时进行观测，避免了EBSD、TKD、EDS或者高倍数形貌观察样品飘移问题，避免更换样品，提高了测试效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214097222 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023343497.7 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 广东省科学院新材料研究所

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