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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型提供一种半导体自动抛光夹具,所述自动抛光夹具包括底座以及垂直于所述底座设置的至少三个固定组件,所述固定组件包括固定块以及支撑柱,所述固定块与所述支撑柱滑动连接,所述固定组件通过支撑柱与所述底座滑动连接。所述自动抛光夹具具有高兼容性,可以对多种形状的半导体零部件进行稳定夹持,减少了生产过程中多种夹具的反复替换,节约成本,提高生产效率,便于管理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099600 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120378074.4
(22)申请日 2021.02.18
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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