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一种半导体晶圆石英舟.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种半导体晶圆石英舟.pdf

    本实用新型涉及石英舟技术领域，且公开了一种半导体晶圆石英舟，包括底板和半导体晶圆石英舟本体，所述底板的顶面开设有两个对称分布的滑槽，滑槽内均滑动连接有两个滑块，相邻的两个滑块的顶面均固定连接有与底板顶面滑动连接的安装板，安装板的顶面设置有定位机构和抵紧机构，抵紧机构上放置有半导体晶圆石英舟本体，底板的顶面两端均固定连接有对称分布的伸缩杆。该实用新型，本装置能够利用定位机构和抵紧机构将半导体晶圆石英舟本体在载物板上进行抵紧，并利用转动电机对其进行转动，从而配合海绵块对半导体晶圆石英舟本体的内壁进行

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099605 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120318219.1 (22)申请日 2021.02.04 (73)专利权人 湖州奥辉石英科技有限公司

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