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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种手工显影蚀刻脱膜设备,包括脱模槽本体,脱模槽本体上部设置有显影槽、蚀刻槽、清洗槽、冲洗槽和可移动冲洗龙头,脱模槽本体底部设置有三排液管和四排水管,三排液管分别与显影槽、蚀刻槽、清洗槽连通,四排水管分别与显影槽、蚀刻槽、清洗槽和冲洗槽连通,显影槽、蚀刻槽和清洗槽各自的口部与冲洗槽之间分别设置有导流槽,导流槽底面向冲洗槽端倾斜;本实用新型的手工显影蚀刻脱膜设备,用于手动对测试版的掩模版进行显影、蚀刻、脱膜处理,节省成本,提高测试效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214098106 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120331448.7
(22)申请日 2021.02.05
(73)专利权人 合肥清溢光电有限公司
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