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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型提供了一种样品基片台及等离子体化学气相沉积设备，属于微波技术领域。上述样品基片台包括样品台本体及封板，其中，样品台本体下表面设置有下凹槽，封板与下凹槽的槽底可拆卸连接，封板与槽底之间设置有冷却水通道，封板将冷却水封在封板与槽底之间。封板上设置有进水孔和出水孔，进水孔和出水孔分别与进水管和出水管连接，从而形成冷却水循环回路。使用时，冷却水进水管及回水管分别与封板上的进水孔和出水孔连接，通过冷却水的流动能够带走部分热量，从而能够将样品基片台维持在比较合理的温度范围内。而由于封板与槽底可拆卸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214088662 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023349018.2
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司
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