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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型属于电子束蒸发台技术领域,具体公开了一种电子束蒸发台,包括壳体和伸缩杆,所述壳体的下方焊接有底座,且底座的下方焊接有支撑块,所述伸缩杆位于底座的内部,且伸缩杆的下方焊接有活动柱,所述壳体的内部开设有卡槽,且卡槽的内部活动连接有卡块,所述卡块的右侧固定连接有柑涡,且柑涡的内部固定连接有进水管,所述进水管的右侧固定有法兰,且法兰的右侧固定连接有密封垫。该电子束蒸发台,与现有的普通电子束蒸发台相比,便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护,从而提高装置工作的效率,并且节约的更换的成本,同时在需要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214088644 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023292578.9
(22)申请日 2020.12.30
(73)专利权人 无锡环亚微电子有限公司
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