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湿法清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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湿法清洗设备.pdf

    本实用新型提供一种湿法清洗设备，所述湿法清洗设备包括去离子水清洗槽及过滤装置，所述过滤装置通过液体管路连接于去离子水供应源及所述去离子水清洗槽之间，用于将所述去离子水供应源供应的去离子水经过滤后输送至所述去离子水清洗槽。本实用新型的湿法清洗设备经改善的结构设计，在去离子水输送至清洗槽的液体管路上设置过滤装置以有效过滤去离子水中的金属颗粒等杂质，有助于提高湿法清洗品质。在进一步的示例中还设置两套过滤单元，一套在用一套备用，有利于提高设备的稳定性和设备产出率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099596 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120138079.X (22)申请日 2021.01.19 (73)专利权人 苏州恩腾半导体科技有限公司

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