原创力文档- 1
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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种基于尾气检测的预处理装置，包括：具有第一冷凝温度的第一冷阱，与原始样品收集器连接，用于将尾气中氯硅烷歧化反应涉及的气体化合物中的一种或者多种进行冷凝；具有第二冷凝温度的第二冷阱，与第一冷阱连接，用于将尾气中氯化氢气体进行冷凝，其中第一冷凝温度高于第二冷凝温度；吸附装置，与第二冷阱连接，吸附剩余尾气中的残余氯硅烷组分；色谱柱，与吸附装置连接，检测预处理的尾气成分。本实用新型根据各组分的沸点不同对原始样品进行分级冷却吸附，去除了待检测样品中的氯化氢、氯硅烷及硅烷等腐蚀性气体，不仅
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214097301 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022656678.9
(22)申请日 2020.11.17
(73)专利权人 亚洲硅业（青海）股份有限公司
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