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一种真空吸盘夹紧主轴及晶圆减薄机.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种真空吸盘夹紧主轴及晶圆减薄机.pdf

    本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴，并基于该真空吸盘夹紧提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴包括：旋转轴；角接触向球轴承，安装在所述旋转轴上；外限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的外圈之间；内限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的内圈之间，用于对所述角接触向球轴承的滚道游隙进行限位，能够在保证轴承的旋转工作精度要求的前提下，可有效阻抗滚道游隙会出现变小的问题，从而使具有接触向球轴承的真空吸盘夹紧主轴能够替代昂贵且技术复杂的微孔石墨气浮吸盘夹紧主轴，该真空吸盘夹紧主轴的调试结果可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214080871 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120025621.0 (22)申请日 2021.01.06 (73)专利权人 东莞市智控鑫能实业有限公司

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