原创力文档- 2
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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴排气结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴排气结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴排气结构包括安装在旋转轴上的角接触球轴承，还包括单向排气件，用于向外排出两个所述角接触球轴承之间的高温高压气体，可以将高温高压气体向外排出，以保证整体结构的稳定性，避免通过油封脉冲排放高温高压气体，导致的真空吸盘夹紧主轴在旋转工作过程中产生震动的问题发生。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214092763 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120025678.0
(22)申请日 2021.01.06
(73)专利权人 东莞市智控鑫能实业有限公司
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