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高纯多晶硅的低消耗生产系统.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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高纯多晶硅的低消耗生产系统.pdf

    本实用新型公开了一种高纯多晶硅的低消耗生产系统，系统包括还原炉、闪蒸罐、换热器、气化器和精馏装置。还原炉冷却水夹套内的加压冷却水借助闪蒸罐转变为高品位水蒸气，用以加热精馏装置，而换热后的水蒸气经加压、液化后又输送至还原炉冷却水夹套内充当新鲜加压冷却水，从而实现还原炉冷却水余热的高价值利用。还原炉高温尾气借助换热器和气化器对来自精馏装置的原料进行加热，以实现还原炉尾气余热的最大化利用。还原炉内壁还设置有能够高效反射来自高温硅棒的热辐射的热辐射反射层，具有减少还原炉热辐射损失量及提高多晶硅纯度的效果

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214087741 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023150877.9 (51)Int.Cl.

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