PL检测仪.pdfVIP

  • 13
  • 0
  • 约4.04千字
  • 约 6页
  • 2023-04-05 发布于四川
  • 举报
本实用新型公开了一种PL检测仪,包括壳体、相机、上光源组、下光源组、检测平台、多组透明细线、图像传输控制线、图像控制处理一体机;本实用新型通过透明细线支撑的方式承接硅片,避免了检测过程可能对硅片造成的二次污染,且透明细线的使用让硅片上下都有PL激发光源成为可能,实现了PL检测效果最佳化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214150439 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202022146567.3 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人 无锡市瑞能科技有限公司

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档