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PL检测仪.pdfVIP

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  • 2023-04-05 发布于四川
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PL检测仪.pdf

    本实用新型公开了一种PL检测仪，包括壳体、相机、上光源组、下光源组、检测平台、多组透明细线、图像传输控制线、图像控制处理一体机；本实用新型通过透明细线支撑的方式承接硅片，避免了检测过程可能对硅片造成的二次污染，且透明细线的使用让硅片上下都有PL激发光源成为可能，实现了PL检测效果最佳化。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214150439 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202022146567.3 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人 无锡市瑞能科技有限公司

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