一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机.pdfVIP

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2023-04-05 发布于四川
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一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机.pdf

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本实用新型公开了一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的正面设置有放置槽，所述放置槽内腔的顶部固定连接有气箱，所述放置槽内腔的底部固定连接有工作台，所述刻蚀机本体的内腔固定连接有挡板。本实用新型通过工作台、挡板、液压伸缩缸、除尘机构、风机、除尘箱、过滤网和软管的配合，将器件放置在凹槽中，液压伸缩缸带动气腔向上移动，同时风机通过除尘箱和软管将器件表面的灰尘进行吸附，避免在刻蚀过程中有灰尘漂浮在器件上，降低刻蚀精度，过滤网对灰尘进行过滤，保证风机排出气体的洁净，从而达到除尘

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214133107 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202022292626.8 (22)申请日 2020.10.15 (73)专利权人江苏金圣硅基新材料研究院有限