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基于大口径非球面光学研抛压力控制系统的技术研究
Research on pressure control system of optical polishing based on large aspheric surface
长春理工大学光电信息学院毕业设计
摘 要
大口径非球面光学元件加工是一个复杂的工艺过程，研抛工具和非球面间的研抛压力直接影响非球面的研抛质量［1］。在传统的光学加工过程中，研抛细磨阶段往往采用手工修抛的方式来加 工光学元件，但人工施加研抛压力存在效率低下，重复精度差等缺点，
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