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一种用于提升单晶生长速度的装置.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种用于提升单晶生长速度的装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于提升单晶生长速度的装置，包括坩埚本体（1）、硅溶液（2）、导流筒（3）、水冷热屏（4）和单晶硅棒（5），水冷热屏（4）的主体内部设有循环管路（4a），循环管路（4a）的进口与进水管路（6）相连、出口与出水管路（7）相连；水冷热屏（4）的内表面设为散热面（4b），散热面（4b）上连接一组散热片（8），散热片（8）的宽度由上至下逐渐减小，散热片（8）的外侧（8a）与散热面（4b）相连、内侧（8b）正对着单晶硅棒（5）设置，且每个散热片（8）的内侧（8b）到单晶硅棒（5）的最短

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215404646 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202121863578.1 (22)申请日 2021.08.11 (73)专利权人 包

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