一种基于气体电容电场效应的加速度传感验证装置.pdfVIP

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2023-04-06 发布于北京
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一种基于气体电容电场效应的加速度传感验证装置.pdf

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本发明公开了一种基于气体电容电场效应的加速度传感验证装置，包括壳体基座、封盖、密封垫圈、上气门嘴、下气门嘴、电容测量基片和结构平板电容器；壳体基座为长方体，内部为长方体空腔，长方体空腔的一个侧面敞开；密封垫圈夹在壳体基座的敞开侧面与封盖之间；壳体基座、密封垫圈和封盖用多颗铆钉固定，将长方体空腔密封，长方体空腔内填充介质气体；壳体基座内部安装电容测量基片，在电容测量基片上安装多个结构平板电容器；上气门嘴和下气门嘴分别安装在壳体基座的上下两个侧面上，用于更换壳体基座内的气体。本发明提供的装置结构紧凑

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215415495 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202120997591.X G01N 9/00 (2006.01)