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清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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清洗设备.pdf

    本申请提供了一种清洗设备，属于半导体制造技术领域，清洗设备包括：机架；槽体，设于机架内；抽风系统，抽风系统包括：进风口，设于机架上，用于向机架的内部进风；出风口，和进风口设置在机架的同侧，并与进风口间隔设置；抽风道，抽风道连通进风口与出风口。本申请抽风道中气体流向一致，使得废气能够在第一时间排出到清洗设备外，保证了整体晶圆清洗工艺的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215391305 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202121861979.3 (22)申请日 2021.08.10 (73)专利权人 常州捷佳创精密机械有限公司

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