一种基于下降法晶体生长装置的升降机构.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种基于下降法晶体生长装置的升降机构.pdf

本实用新型涉及晶体生长设备领域,具体的涉及一种基于下降法晶体生长装置的升降机构,包括设置有坩埚的用于生长晶体的晶体生长装置,用于放置晶体生长装置并设有升降支撑平台的支撑装置,用于控制坩埚升降的垂直升降装置,所述垂直升降装置包括与坩埚连接的承载单元,限制承载单元运动方向的导向单元,以及为承载单元运动提供动力的驱动单元。通过设置导向单元、与导向单元连接的固定座,以及连接在固定座上的支撑柱,确保固定座以及坩埚垂直稳定运动的同时增加坩埚的承载能力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215404638 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202122189193.8 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人 秦皇岛本征晶体科技有限公司

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