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石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构.pdf

    本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在开口上；支撑凸起，设置在桶体的底面，用于支撑石英坩埚。通过在桶体内设置支撑凸起，一方面可以支撑悬空倒扣的石英坩埚，使得石英坩埚充分腐蚀，另一方面支撑凸起可以占用桶体的部分空间，达到节省腐蚀液、降低成本的目的。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215480535 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120384787.1 (22)申请日 2021.02.20 (73)专利权人 有研光电新材料有限责任公司

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