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- 2023-04-09 发布于四川
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一种集成电路生产用腐蚀装置，包括底座、支撑架、支撑盘、固定盘、喷液头、脱水组件和吹干组件；支撑盘转动设置在底座上并与第一电机动力连接；固定盘转动设置在支撑盘上，固定盘上设有固定电路板的夹持组件；喷液头、脱水组件和吹干组件设置在支撑架上并逆时针分布在支撑盘的上方；第二电机设置在气缸的伸缩杆上，防溅罩设置在第二电机的转动轴上，进气管上设有固定环；转动件转动设置在固定环上并与第三电机的转动轴连接；喷气头设置在转动件的底部并与转动件上的空腔连通。本实用新型通过第一电机带动支撑盘转动从而移动固定盘以及固定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215496636 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121124580.7
(22)申请日 2021.05.24
(73)专利权人 芯源泰（北京）科技有限责任公司
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