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一种集成异质结双极晶体管.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种集成异质结双极晶体管.pdf

    一种集成异质结双极晶体管，其特征在于：包括形成于有源区的HBT器件和位于无源区的被动器件结构，所述HBT器件和所述被动器件由下至上具有相同的衬底、次集电层、蚀刻停止层和集电层；所述被动器件的集电层厚度大于所述HBT器件的集电层厚度，且所述被动器件的集电层上设有金属电极板，所述金属电极板为Pt/Ti/Pt/Au/Ti叠层。本实用新型的金属电极板与衬底的GaAs在合金化过程中反应程度减缓，使得表面粗糙度得到改善，提高基于金属电极板制作的被动器件结构的性能。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218730945 U (45)授权公告日 2023.03.24 (21)申请号 202222583263.2 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人 厦门市三安集成电路有限公司 地址

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