一种用于检测残留光刻胶的装置.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种用于检测残留光刻胶的装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于检测残留光刻胶的装置，包括：基座，其上设有传送带；载物台，设于所述传送带上，所述载物台上还设有用于吸附待检产品的吸附盘；检测室，设于所述基座上，所述检测室内设有用于对待检产品的表面进行喷雾的雾化喷头以及用于对检测室内补光的补光灯。本实用新型提供的装置简单易行，采用气雾喷洒的方法，利用雾化喷头将水雾喷洒在产品表面，使得残留光刻胶图形显现，这时用肉眼可以观察到，非常方便，即使残留的光刻胶很薄，也能够非常准确地检测出是否有光刻胶残留。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215525490 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202121390787.9 (22)申请日 2021.06.22 (73)专利权人四川科尔威光电科技有限公司