蒸镀坩埚及蒸镀装置.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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蒸镀坩埚及蒸镀装置.pdf

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本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，前者包括坩埚本体和加热装置；坩埚本体的顶部设置有开口；加热装置设置于坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部与第二加热部依次交错串联设置多个；第一加热部与坩埚本体的整体外周壁对应设置；第二加热部与坩埚本体的靠近开口的局部外周壁对应设置。后者包括前者。第一加热部对坩埚本体的整体外周壁进行加热，第二加热部对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，以确保坩埚本体的开口周壁处的温度高于坩埚本体其他部位的温度，而且一个供

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215517604 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202023343090.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020