一种用于维修PBN坩埚的工具.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种用于维修PBN坩埚的工具.pdf

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本实用新型涉及坩埚维修领域，公开了一种用于维修PBN坩埚的工具，包括底座和控制器，所述底座上设置有制动单元和支撑单元，制动单元气泵，气泵连接有气管，气管连接有第一转轴，第一转轴中间固定套设有支撑气球，第一转轴上设置有气阀，支撑单元包括对称设置的两个第一支撑柱和两个第二支撑柱，两个第一支撑柱之间的上端固定连接有第一连接杆，两个第二支撑柱之间的上端固定连接有第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆之间固定连接有弹性支撑面，底座上设置有控制面板，控制面板和气泵均与控制器电连接。本实用新型能够解决现有维修坩埚

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215517723 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202120214186.6 (22)申请日 2021.01.26 (73)专利权人威科赛乐微电子股份有限公司