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- 2023-04-11 发布于四川
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本实用新型公开了一种大功率晶圆测试装置，包括测试腔体、测试模块、第一气泵和第二气泵；测试腔体用于放置晶圆，且分别开设有惰性气体入口和惰性气体出口；第一气泵的一端用于接入惰性气体，另一端与测试腔体的惰性气体入口连接；第二气泵的一端与测试腔体的惰性气体出口连接；测试模块设置于测试腔体内，且用于测试放置于测试腔体内的晶圆。本方案在大功率晶圆测试过程中考虑到了高、低温测试环境对晶圆和测试设备本身的影响，通过在测试腔体内注入和抽出惰性气体的惰性气体交换方式，以确保晶圆在高温测试环境下的抗氧化性和低温测试环
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218727404 U
(45)授权公告日 2023.03.24
(21)申请号 202221645825.5
(22)申请日 2022.06.29
(73)专利权人 湖北九峰山实验室
地址 4300
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