基于氧化镓单晶的日盲偏振探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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基于氧化镓单晶的日盲偏振探测器及其制备方法.pdf

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本公开提供一种基于氧化镓单晶的日盲偏振探测器，包括：衬底(10)，为β相氧化镓，其(001)晶面上形成多个探测单元，探测单元成阵列布置；其中，每个探测单元包括：第一隔离层(11)，形成于衬底(10)中，其上表面与衬底(10)的表面持平；欧姆接触电极(13)、肖特基接触电极(14)，至少部分位于衬底(10)的表面上、至少部分位于第一隔离层(11)的表面上，且欧姆接触电极(13)与肖特基接触电极(14)之间形成光吸收区域。本公开还提供一种基于氧化镓单晶的日盲偏振探测器的制备方法。本公开的日盲偏振探测

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114744059 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210371155.0 H01L 27/144 (2006.01)