一种垫板易于剥离的料座.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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一种垫板易于剥离的料座.pdf

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本实用新型公开了一种垫板易于剥离的料座，涉及硅片生产设备领域，包括料座本体，料座本体的粘接面上粘接有垫板，料座本体内设有沿料座本体长边方向的一条通槽，通槽靠近粘接面，通槽内装有发热管，发热管两端与电源连通，垫板垂直于长边的截面为梯形，梯形下底所在平面与粘接面贴合。本实用新型中在料座本板内设置发热管，发热管发热，使胶水降低粘性，且垫板截面为梯形，机械手勾住垫板后不易脱落，剥离效率提升。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215589653 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202122118444.3 (22)申请日 2021.09.03 (73)专利权人无锡中环应用材料有限公司