原创力文档- 0
- 0
- 约3.35万字
- 约 28页
- 2023-04-13 发布于四川
- 举报
本发明提供一种可缩短形成有机膜后的工件的冷却时间，且可维持有机膜的质量的有机膜形成装置。具体而言，实施方式所涉及的有机膜形成装置可在减压到低于大气压的气氛下对工件进行加热，所述工件具有基板、涂布在所述基板的上面上的包含有机材料和溶剂的溶液。有机膜形成装置具备：腔室，可维持所述减压到低于大气压的气氛；排气部，可对所述腔室的内部进行排气；至少1个温度控制部，具有外管和发热部，所述外管呈筒状，从所述腔室的外侧延伸到所述腔室的内侧，并以气密的方式穿通于所述腔室，所述发热部被设置在所述外管的内部空间中并沿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114054316 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110844416.1
(22)申请日 2021.07.26
(30)优先权数据
2020-1339
文档评论（0）