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一种坩埚及蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2023-04-13 发布于四川
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一种坩埚及蒸镀装置.pdf

    本实用新型公开一种坩埚及蒸镀装置，其中，坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体具有容纳空间，所述坩埚本体的顶部具有连通所述容纳空间的开口，所述坩埚本体的底部的至少一部分向所述开口方向延伸以形成导热柱，所述导热柱内部设有贯通所述坩埚本体的底部的加热孔。本实用新型的技术方案通过采用热辐射的方式分别从坩埚本体外壁以及加热孔孔壁同时对坩埚本体内的材料进行加热，通过双向同时加热的方式实现坩埚本体内的材料均匀受热，由于材料均匀受热因此材料蒸发速率能保持在较为稳定的状态，减少了材料爆冲现象。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215628249 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120234688.5 (22)申请日 2021.01.27 (73)专利权人 广东聚华印刷显示技术有限公司

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