一种加热匀胶的旋涂装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种加热匀胶的旋涂装置,涉及匀胶机技术领域。包括中轴和套管,所述中轴的外侧设置有套管,所述中轴的下端套接有连接管,所述连接管的下端开设有安装槽,所述连接管的上端螺纹连接有固定螺栓,所述中轴的中段开设有卡槽,所述中轴的上端固定连接有托盘,所述托盘的上表面设置有加热板,所述加热板的上表面设置有置物板,所述置物板的下表面固定连接有定位柱,所述托盘的外缘螺纹连接有围板;通过设置连接块、伸缩套杆、弹簧和安装板共同组成多组三角状的稳定支架,对套管进行支撑,通过套管的稳定,提高中轴转动过程中的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215656134 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202022115447.7 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 无锡亚迈微电子有限公司

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