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清洗液提供设备及具有其的晶圆清洗机.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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清洗液提供设备及具有其的晶圆清洗机.pdf

    本实用新型公开了一种清洗液提供设备及具有其的晶圆清洗机，该清洗液提供设备包括：存储装置，所述存储装置设置N个开口朝上且相互分隔的存储格，每个存储格的底部都设置有出液口，出液口中设置有液体探测传感器；药液提供装置，所述药液提供装置设置有药液出口；加热装置，所述加热装置设置有N个进口、N个出口和N个热交换器，所述N个进口、N个出口和N个热交换器一一对应，每个热交换器一端连通通对应的进口、另一端连通对应的出口；其中，N为自然数。从而能够提供清洗液。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215656749 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202022675710.8 (22)申请日 2020.11.18 (73)专利权人 苏州中辉半导体设备有限公司

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