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一种单晶炉用波纹管.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种单晶炉用波纹管.pdf

    本实用新型涉及一种单晶炉用波纹管，包括波纹管体以及固定连接在波纹管体上方的上法兰圈，还包括设置在波纹管体内部的循环水冷套以及与循环水冷套相连通的进水管道及出水管道，所述进水管道、出水管道均与所述上法兰圈相连接，循环冷却水能够从进水管道进入所述循环水冷套内部，之后从所述出水管道流出。本实用新型的单晶炉用波纹管在波纹管管体内部增设循环水冷套，循环水冷套内部能够循环工业冷却水，当有硅料或者硅液滴落时，通过循环水冷套的降温处理能有效避免波纹管被高温烫穿，延长了波纹管的使用寿命，降低设备生产风险、提高设备

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668285 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122105614.4 (22)申请日 2021.09.02 (73)专利权人 内蒙古华耀光电科技有限公司

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