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一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备.pdf

    本申请提供了一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备，属于碳化硅籽晶生长技术领域。该碳化硅晶体生长装置包括坩埚载具以及坩埚盖，坩埚载具设有用于装载碳化硅原料的装载部，坩埚盖设有用于固定碳化硅籽晶的固定部，坩埚盖沿高度方向可移动地套装在坩埚载具上，以使装载部与固定部之间的距离可调。该碳化硅晶体生长装置能够增加碳化硅晶体的生长高度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668293 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202023163810.9 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 湖南三安半导体有限责任公司

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