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样品传送系统.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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样品传送系统.pdf

    本实用新型公开了一种样品传送系统，包括样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道及自动输送通道，MOCVD托盘通道用于将MOCVD托盘或承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；MBE托盘通道用于将MBE托盘或承载有样品的MBE托盘输送给样品传递室；自动输送通道用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，或将样品传递室内的MBE托盘上的样品转移到MOCVD托盘上，并将完成样品转移后的MOCVD托盘输送给MOCVD托盘通道或将完成样品转移后的MBE托盘输送给MBE托盘通道；M

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215628426 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202122458253.1 (22)申请日 2021.10.12 (73)专利权人 材

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