六氟丁二烯的制备、纯化及应用_金小贤.pdfVIP

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2023-04-16 发布于江苏
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六氟丁二烯的制备、纯化及应用_金小贤.pdf

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36 1 Vol. 36 ，No. 1 第卷第期低温与特气 2018 2 Low Temperature and Specialty Gases Feb. ，2018 年月 · 气制备· 特、化及应用六氟丁二烯的制备纯金，，，，小贤夏致远张友圣孙猛金向华 ( ，苏苏州215152) 苏州金宏气体股份有限公司江 : ，，，、。摘要六氟丁二烯作为干法刻蚀气体相对于传统的全氟刻蚀气具有环境友好刻蚀精度高选择性好等优点对、，。六氟丁二烯的制备纯化及应用做了简要介绍并对其工业化生产现状做了简单描述 : 1，3 － ; ; ; ; 关键词六氟丁二烯制备纯化应用市场中图分类号:TQ117 文献标志码:B 文章编号:1007-7804 (2018)01-0026-04 doi :10. 3969 /j. issn. 1007-7804. 2018. 01. 006 Preparation ，Purification and Application of Hexafluorobutadiene JIN Xiaoxian ，XIA Zhiyuan ，ZHANG Yousheng ，SUN Meng ，JIN Xianghua (Suzhou Jinhong Gas Co．，Ltd．，Suzhou 215152 ，China) Abstract :Compared with traditional perfluorinated etchant gas ，hexafluorobutadiene has the advantages of environmental friendliness ，high etching accuracy and good selection as a dry etching gas． This paper introduces the preparation ，purifica- tion and application of hexafluorobutadiene ，and gives a brief description of its industrialized production status． Key words :hexafluoro-1 ，3-butadiene ;preparation ;purification ;application ;market 1 。 136． 75℃ ， 0 引言表所示六氟丁二烯的临界温度为大 65℃ ，，，于是一种低压液化气体不溶于水在空气中六，