原创力文档- 6
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- 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆清洗机，包括：底板、晶圆卡盘和多个喷淋臂；所述喷淋臂的第一端可转动设置于所述底板的上表面，第二端设置有喷头，在所述底板的下表面设置有用于驱动所述喷淋臂做转动和上下运动的第一驱动装置，所述喷头用于提供清洗晶圆的液体和干燥晶圆的气体；所述底板上设置有开口朝上的第一凹部，所述晶圆卡盘位于所述第一凹部中，在所述底板设置有第二驱动装置，第二驱动装置能够驱动所述晶圆卡盘做上下运动且为晶圆卡盘提供吸力。该晶圆清洗机能够对晶圆进行清洗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215656627 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202022660959.1
(22)申请日 2020.11.17
(73)专利权人 苏
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