大宗气二次配施工方案.docVIP

施工方案与技术措施 福建晋华集成电路有限公司二次配水气化包2 PAGE 87 福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目20K二次配系统项目 水气化类包二 B-GAS施工方案 编制人：______________________ 审核人：______________________ 审批人：______________________ 中国电子系统工程第四建设有限公司 2018年07月24日 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 27787 一、工程范围 5 5516 二、工程概况 5 32579 三、本工程设计概况 7 23416 1. 本工程主要设计图 7 14175 2. 二次配管主要设计内容 7 25158 四、设计方案 7 13610 （一）深化设计和空间管理 7 21348 （二）深化设计实例 10 16117 五、空间管理方案 12 18614 六、洁净室施工管理 14 10369 1、健全管理制度 14 10918 2、施工管理总体要求 15 13722 3、防止扰乱正常工作、生产措施 16 16071 4、洁净文明施工措施 17 19088 5、洁净室成品保护措施 18 247 七、二次配管道方案 21 8563 （一）二次配管道施工流程图 21 16923 （