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- 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型提供了一种短路缺陷的检测结构及用于存储器的检测系统。在该检测结构中使其中至少一条导线连接至接地端口而构成第一导线，并使第一导线相邻的至少一条导线以未连接至接地端口设定而构成第二导线，从而可直接观察第一导线和第二导线在电子束作用下的明暗度，而判断出第二导线和第一导线是否发生短路的问题。本实用新型提供的检测结构可采用较为简单便利的检测手段，且能够快速直接的得到检测结果，能够对对应的制备工艺进行实时高效的监控。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215680614 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202122131132.6
(22)申请日 2021.09.03
(73)专利权人 长江先进存储产业创新中心有限
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