原创力文档- 9
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- 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型公开了半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，涉及晶圆加工技术领域，针对背景技术提出的晶圆烘干装置缺少对氦气的回收净化装置，会造成氦气的浪费，增大了生产成本问题，现提出以下方案，包括烘干装置本体和净化箱体，烘干装置本体的顶部一侧开设有排气孔，净化箱体的内部顶端一侧安装有抽气泵，抽气泵的抽气端连接有抽气管，抽气管的一端贯穿至净化箱体的外部且连接在烘干装置本体上的排气孔处。本实用新型中，利用第一分离过滤器和第二分离过滤器的双重净化作用，提高了氦气的提纯效率，有效的节省了时间成本，提纯后的氦气可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215654289 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202122122641.2 F17C 13/00 (2006.01)
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