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氮气柜及晶圆管理系统.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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氮气柜及晶圆管理系统.pdf

    本申请公开了一种氮气柜及晶圆管理系统，该氮气柜包括柜体和设置在柜体内部的主控模块，柜体包括多个物料存放层，每个物料存放层包括至少一个物料存放区域，每个物料存放区域设置有射频识别模块，每个射频识别模块与主控模块连接；每个射频识别模块用于读取物料电子标签内的信息并发送至主控模块；主控模块用于接收物料电子标签内的信息，将电子标签内的信息与预存的物料信息进行比对，确定物料的状态信息，以及用于响应于上位机发送的第一操作指令，以控制打开或关闭氮气柜的柜门。本申请能够自动读取物料电子标签内的信息，无需人工手动

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215685930 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121786047.7 (22)申请日 2021.08.02 (73)专利权人 苏州通富超威半导体有限公司

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