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利用空间光调制器的激光加工装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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利用空间光调制器的激光加工装置.pdf

    本实用新型公开了一种利用空间光调制器的激光加工装置，包括能够发射所述激光束的激光源，还包括用于在加工对象物上形成聚光点从而实现Z轴方向加工的空间光调制系统、稳定所述加工对象物的台面，所述空间光调制系统包括用于接收所述激光束的第一反射镜、用于转化来自所述第一反射镜的激光束的空间光调制器、用于将空间光调制器所转化的激光束聚焦于加工对象物上的光学系统，光学系统位于空间光调制器与台面之间，台面能够沿X、Y轴方向活动地设置在工作台上，工作台上设置有用于驱动台面能够沿X、Y轴方向活动的驱动机构。在加工对象物

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215698845 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121786647.3 (22)申请日 2021.08.03 (73)专利权人 伊欧激光科技（苏州）有限公司

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