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一种可测量压力的固晶头及压力预警装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种可测量压力的固晶头及压力预警装置.pdf

    本实用新型提供了一种可测量压力的固晶头及压力预警装置，该固晶头包括电机、吸嘴、力传递件、压力传感器，所述电机包括电机本体、以及与所述电机本体相连的电机主轴，所述吸嘴与所述电机主轴相连，所述电机主轴移动时会带动所述力传递件随之移动，所述力传递件在移动时会挤压所述压力传感器。本实用新型的有益效果是：本实用新型能够检测固晶头的受力情况，当发现吸嘴未触碰到晶圆或撞到顶针时，及时提示工作人员，从而使工作人员能够及时的对固晶头进行检修，避免造成更大的损失。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215680645 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122354915.0 (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人 深圳市卓兴半导体科技有限公司

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